超淨工作臺的淨化離不開HEPA高效過濾器

超淨工作臺的淨化離不開HEPA高效過濾器

時間☁↟│:2022-8-3 編輯☁↟│:wps-admin

超淨工作臺的淨化離不開HEPA高效過濾器

超淨工作臺的淨化離不開HEPA高效過濾器隨著現代工業的崛起☁↟☁₪,越來越多環境都開始要求無塵無菌☁↟☁₪,做為無塵無菌空間的超淨工作臺的的舞臺也就越來越大了╃•↟│₪。

空氣淨化的產生☁↟│:空氣經過過濾的生產環境首先被航天工業使用╃•↟│₪。即使一個極其微小的缺陷都可造成衛星工作失誤☁↟☁₪,因此☁↟☁₪,航天中心和其服務商們建造了帶有過濾天花板夾層和過濾牆體的車間╃•↟│₪。而且首創了許多基本的汙染控制理念☁↟☁₪,其中包括從工作人員潔淨服到潔淨室使用物的管理方法╃•↟│₪。

半導體工業採用了許多這方面的技術╃•↟│₪。然而一個主要的問題是當從小加工車間擴建為有更多工人工作的大型車間後☁↟☁₪,很難保持其固有的潔淨度╃•↟│₪。早期半導體工業把帶過濾天花板夾層和牆體的方法演化為超淨工作臺╃•↟│₪。這個主要是把空氣過濾器裝在單個超淨工作臺上☁↟☁₪,並使用無脫落的物質╃•↟│₪。在超淨工作臺以外☁↟☁₪,晶圓被裝在密封的盒子中儲存•₪◕▩、運輸╃•↟│₪。

在大型車間中按順序排列的超淨工作臺組成加工區☁↟☁₪,使晶圓依工藝次序經過而不從露於空氣中╃•↟│₪。超淨工作臺的過濾器是一種高效顆粒蒐集過濾器(高效過濾器)╃•↟│₪。這些超淨工作臺過濾器是由含許多小孔☁↟☁₪,並按手風琴琴葉摺疊的脆性纖維組成☁↟☁₪,由於高密度的小孔與大面積的過濾層☁↟☁₪,使得大量的空氣低速流過╃•↟│₪。由於超淨工作臺低速空氣可避免產生空氣流☁↟☁₪,有利於超淨工作臺的潔淨度☁↟☁₪,並且對於操作員而言☁↟☁₪,在舒適的環境中工作也是必要的╃•↟│₪。超淨工作臺典型的空氣流量6為每分鐘90到100英寸╃•↟│₪。超淨工作臺高效過濾器可達到99.99%或更高的過濾效率☁↟☁₪,並可用於三種淨化方法中╃•↟│₪。

超淨工作臺的淨化離不開HEPA高效過濾器一般來說☁↟☁₪,超淨工作臺HEPA高效過濾器裝於超淨工作臺頂部╃•↟│₪。超淨工作臺空氣由風扇吸入先透過前置過濾器☁↟☁₪,再透過HEPA高效過濾器☁↟☁₪,並以均勻平行的方式流出☁↟☁₪,在工作臺表面改變方向☁↟☁₪,流出工作臺╃•↟│₪。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動方向☁↟☁₪,通常這種方式稱為空氣層流立式式(VLF)超淨工作臺☁↟☁₪,它是由空氣流的方向命名的╃•↟│₪。

有些超淨工作臺則把HEPA高效過濾器裝於工作臺後部☁↟☁₪,這種方式被稱為空氣層流平行(HLF)式超淨工作臺╃•↟│₪。

不管是哪種型別的超淨工作臺☁↟☁₪,都離不開使用HEPA高效過濾器☁↟☁₪,可以毫不誇張地說☁↟│:沒有了高效過濾器☁↟☁₪,超淨工作臺也就達不到其淨化要求╃•↟│₪。

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